FemtoLAB KIT---实验室激光解决方案

FemtoLAB KIT---实验室激光解决方案

FemtoLAB KIT 是立陶宛 WOP（Workshop of Photonics）推出的无光源版飞秒激光微加工成套套件，面向已经自备飞秒超快激光器的科研与工业用户，作为搭建微纳加工平台的一体化光路、运动与控制集成模块。该套件不含激光光源，可对接 Yb 等各类飞秒固体激光器，快速搭建亚微米精度超快微加工系统。

系统标配高精度 XYZ 电动样品位移台、振镜扫描模组、光束传输与功率偏振控制单元、真空样品夹具、除尘模块、光学平台及安全防护壳体，配套 SCA 专用加工控制软件，支持单屏一体化操控。可选配机器视觉、自动对焦模块，可导入 DXF、STL 等 2D/3D 模型文件，实现自动化加工。设备最小加工特征可达 200nm，定位精度 ±0.3μm，支持玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、聚合物、光纤等多种材料。

依托飞秒激光冷加工优势，该套件可完成微孔钻孔、精密切割、表面微结构制备、多光子聚合（MPP）、激光打标、微焊接等工艺。模块化架构支持按需定制光束整形与光路，后期可灵活升级拓展功能。广泛用于微流控芯片、MEMS 器件、光纤光栅制备、光子晶体、新材料样品制备等前沿科研场景，是高校、科研院所及光电企业快速落地超快微加工实验的高性价比方案。

主要特点

•  制造具有亚微米分辨率的复杂物体。

•  高速微加工。

•  XYZ高精度样品定位。

•  为选定波长定制光束传输和整形。

•  通过单屏界面控制整个系统。

•  易于升级的定制设计。

原理配置

• 激光源（客户提供）

• 样品定位系统

• 光束传输和扫描单元

• 激光功率和偏振控制单元

• 系统控制软件（根据要求提供自动对焦和机器视觉）

• 样品架和特殊机械装置（应要求提供样品处理自动化）

• 光学平台

• 外壳（全部或部分）

• 除尘单元

• 激光系统由微加工软件 SCA 自动化。

应用

• 激光微钻孔

• 激光微切割和划片

• 激光焊接

• 激光微打标

• 多光子聚合

• 表面结构

FemtoLAB KIT---实验室激光解决方案