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飞秒微加工系统的优势特点及主要应用途径

更新时间:2022-11-24  |  点击率:375
   飞秒微加工系统包括免维护工业级别fs激光器系统和高稳定性模块化设计激光加工模组,系统采用的花岗石龙门支架结构设计可以保证系统优良的加工稳定性。系统配置快速移动、nm运动精度和高达600mm行程范围的运动平台,使得系统在大幅面超精细处理领域有着非凡的能力。另外根据客户不同加工需求,可选择扫描振镜、长工作距离显微物镜或者螺旋钻孔系统以及真空环境样品室等,在超快激光刻蚀、表面处理和表面3D雕刻、触摸屏和ITO切割以及金属、合金、半导体、陶瓷等多种材料的钻孔和切割等领域都有着十分出色的应用。
  
  飞秒微加工系统可以满足高精度三维结构制备、多材料微纳结构加工以及器件成型与集成的加工需求,因此,在各类微纳结构化功能部件的研制中展现出了很大的技术优势。目前,飞秒激光已经广泛应用于多个前沿科学领域。
  
  利用飞秒微加工系统可以制备各种微光学器件,如微透镜阵列、仿生复眼、光波导和超表面等。吉林大学研究团队利用双光子聚合技术制备了一种基于仿生蛋白质的微透镜,该透镜在外界刺激下可动态调节焦距,同时具有伸缩性、良好的生物相容性和生物可降解性;进一步该团队利用激光加工技术制备了可变焦的仿生复眼,实现了大视场变焦成像的功能,如图1所示。利用其高精度、高分辨率和三维加工能力,飞秒激光加工技术成为制备三维微流控芯片的强大工具。目前,微流体器件的制备材料体系十分多样化,最常见的制备材料为玻璃和聚合物材料(PDMS、PMMA等),随着微流控芯片应用环境的复杂化和多样化,一些具有*机械性能的材料,如蓝宝石和金刚石也已被研究者们开发并用于微流体器件的制备中,以应对一些特殊的需求,如高压高温环境等。