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激光器及应用系统
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FemtoFAB---工业用激光工作站
主要特点
高制造速度 - 高达 300 mm/s(可根据要求提供更多)
制造具有亚微米分辨率的复杂物体
高性能振镜扫描仪
脉冲密度控制
亚微米精度的精确物体定位
物体运动和激光脉冲在时间和空间上的同步。
独特的软件接口控制所有硬件单元
配置
激光源
样品定位系统
光束传输和扫描单元
激光功率和偏振控制
系统控制软件(根据要求提供自动对焦和机器视觉)
样品架和特殊机械装置(根据要求提供样品处理自动化)
光学平台
外壳(全部或部分)
除尘单元
激光系统通过微加工软件 SCA 实现自动化。
该软件是激光系统的重要组成部分,不单独出售。
参数
数值
脉冲持续时间
200 fs – 10 ps
重复频率
1 kHz – 1 MHz
平均功率
高达 20W
脉冲能量
高达 2 mJ
波长
1030 nm、515 nm、343 nm、258 nm、206 nm
定位精度
± 250 nm
行程范围
从 25×25 mm到 300×300 mm(根据要求更大)
应用
激光微钻孔
激光微切割和划片
激光微打标
表面结构
玻璃垫片 钢化玻璃切割
蓝宝石批量打标 钛涂层选择性烧蚀
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