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激光器及应用系统
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FemtoMPP---用于多光子聚合的激光工作站
主要特点
制造具有亚微米分辨率的复杂物体。
高速超高精度微加工。
高效的光束传输和功率控制。
工业级飞秒激光器。
高性能振镜扫描仪。
物体运动和激光脉冲在时间和空间上的同步。
独特的软件界面控制所有硬件单元。
优势
自定义构建---每个工作站都是根据您想要达到的确切结果构建的
可升级-------您可以随着时间的推移添加其他功能
灵活性-------一台工作站可用于制作多个应用程序
全力支持-----我们将在您的场所安装工作站并培训您的团队
参考---------我们的系统安装在各种企业、研究型大学和单位中
1年保修-----以及售后服务
参数
标准
高级
定制
激光微加工技术
加性
客户定制
激光
单波长或双波长
NIR、绿色、UV
最小 XY特征尺寸
300 nm标准
150nm(典型值200nm)
STED 可选
最佳 XY 分辨率
700 nm
300 nm
取决于解决方案
最佳垂直分辨率
1,5 µm
0,5 µm
层距
0,5-1 µm
0,05 – 3 µm
最大物体高度
1 mm
10 mm
构建体积
10x10x0,5 mm3
60x60x10 mm3
最大工作范围
60x60x5mm3
100x100x35 mm3
最小表面粗糙度,Ra
50 nm
30 nm
扫描速度
0,1-1 mm/s
0,1-100 mm/s
自动对焦
-
包含
电源控制
集成外部控制
振动控制
被动
防振隔离
原理配置
激光源
样品定位系统
光束传输和扫描单元
激光功率和偏振控制
系统控制软件(根据要求提供自动对焦和机器视觉)
样品架和特殊机械装置(根据要求提供样品处理自动化)
光学平台
外壳(全部或部分)
除尘单元
激光系统通过SCA微加工软件实现自动化。该软件是激光系统的重要组成部分,不单独出售。
应用案例:
多光子聚合
硅片上的超导线圈
现有功能器件上的功能结构纳米打印
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