FemtoLAB ——飞秒激光微加工工作站

FemtoLAB ——飞秒激光微加工工作站

技术参数

软件控制功能：

·  XYZ位移台

·  旋转轴

·  扫描振镜

·  激光参数

·  机器视觉

·  工作区域平均功率（反馈）

·  偏振

加工便利性：

·  使用显微镜转台切换波长

·  使用显微镜转台改变光学部件聚焦

·  使用共焦自动聚焦系统确定焦点

·  CCD相机视场自动校正

·  CCD自动聚焦到样品表面

·  自动判断样品倾斜

·  加工过程拍照和录像

·  加工轨迹和CCD视场重合

·  实时加工追踪

·  键盘式操纵杆

全部配置包括：

·  飞秒激光器PHAROS

·  SHG，THG，FHG和光束传输系统

·  SHG用于振荡器输出

·  XYZ位移台系统

·  扫描振镜系统

·  4个衰减器用于WAIT PILOT

·  4个偏振旋转器

·  自动聚焦和机器视觉单元

·  SLM或其他光束整形器

·  转台用于调整谐波镜和聚焦光学部件

·  系统可以组装在已有的光学平台上，区域1m×2.5m。

应用案例：

   
微钻 | 玻璃 

多光子聚合MPP

       微焊 | 玻璃到金属 

0.1mm厚的蓝宝石侧面图

          玻璃基板的铬烧蚀                              

光纤钻孔

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