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光机械
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Standa直接驱动电动位移台
Standa 8MTL 系列直接驱动电动位移台采用无铁芯三相无刷直线伺服直驱方案,取消丝杠、齿轮等传动结构,实现零回程间隙、低摩擦、高动态响应的精密定位,是飞秒微加工、激光扫描、光子芯片制备、干涉检测领域的运动定位部件Standa。
位移台搭载非接触式光学光栅编码器作为位置反馈,分辨率可达亚纳米级别,双向重复精度最高 ±0.1μm,校准后绝对定位精度可达 ±1μm,运动平稳、无爬行,适配长时间连续扫描作业。主体采用时效稳定铝合金基材,热漂移控制优异,交叉滚子导轨保障高刚性与运动直线度;可单轴、XY 平面一体化组装,无需转接板,正交性表现优秀,可直接安装于标准光学平台或花岗岩基座上Standa。
该系列支持洁净室、低真空(最高 10⁻³Torr)定制版本,适配真空光学、薄膜沉积等特殊环境;可搭配 Standa 自研控制器或 ACS 驱动系统,支持 EtherCAT、TCP/IP、RS422 等通讯协议,满足高速同步扫描需求。行程规格丰富,单轴、大行程 XY 平面型号可选,具备霍尔限位保护,可根据需求提供封闭防尘外壳。广泛应用于激光直写、微流控加工、矢量光学元件制备、精密计量检测等光电科研与工业自动化场景,兼顾科研开发与批量产线集成,是高精度激光系统的优选定位方案。
8MTL1301-170
型号
8MTL1301-170-LEn1-025
8MTL1301-170-LEn1-050
8MTL1301-170-LEn1-100
8MTL1301-170-LEn1-200
行程
170 mm
编码器类型
Optical Encoder
编码器分辨率
25 nm
50 nm
100 nm
200 nm
编码器光栅周期
20 µm
绝对精度:
校准前
±5 µm
校准后
±1 µm
双向重复精度(峰峰值)
±0.15 µm
双向重复精度(RMS)
±0.10 µm
最大速率(载重4kg)
<2000 mm/s
载重(置于中心)
30kg
重量
4.1kg
8MTL1401-300
8MTL1401-300-LEn1-025
8MTL1401-300-LEn1-050
8MTL1401-300-LEn1-100
8MTL1401-300-LEn1-200
300 mm
±0.08 µm
6.75kg
8MTL165-300
8MTL165-300-LEn1-025
8MTL165-300-LEn1-050
8MTL165-300-LEn1-100
8MTL165-300-LEn1-200
绝对精度
±10 µm
±0.5 µm
±0.24 µm
50kg
13.5kg
8MTL220
8MTL220-400-LEn1
8MTL220-600-LEn1
400 mm
600 mm
Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand)
±12 µm
±0.26 µm
100kg
37kg
46kg
8MTL120XY
8MTL120XY-LEn1-025
8MTL120XY-LEn1-050
8MTL120XY-LEn1-100
8MTL120XY-LEn1-200
120 x 120 mm
±4 µm
<1000 mm/s
尺寸
240 x 360 x 75 mm
12.5kg
8MTLF250XY
8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1
8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1
8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1
8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1
250 x 250 mm
±6 µm
±1.5 µm
±2 µm
±0.25 µm
±0.3 µm
发动机数量
4
3
2
<1500 mm/s
746 x 746 x 106 mm
~ 68 kg
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