氩离子激光器以惰性气体氩离子(Ar⁺)为工作物质,通过直流放电或脉冲放电使氩原子电离并激发,在离子能级间实现受激发射,后经谐振腔放大输出激光。
结构
激光管:石英材质,内置阳极(钽 / 钨材质)、阴极(铝 / 钡材质),管内气压 0.1~1Pa,是激光产生的核心部件;
谐振腔:平 - 凹腔或平 - 平腔结构,反射镜镀膜(针对特定波长高反射),输出镜透过率 10%~30%(按需调节);
激励电源:直流高压电源(5~15kV)或射频电源(13.56MHz),提供放电能量,控制输出功率稳定性;
冷却系统:水冷(大功率型号,冷却水温度 20~25℃)或风冷(小功率型号),避免激光管过热导致性能衰减;
控制系统:内置功率反馈模块、温度监控、故障报警(过流 / 过热 / 气压异常),支持外部信号控制(模拟量 / 数字量)。
氩离子激光器维护需重点关注冷却系统、光学组件清洁、气体管路保养及定期校准,以确保设备稳定运行和延长使用寿命。
冷却系统维护
水质管理:定期更换去离子水(电导率需≤32μS/cm),检查离子交换柱颜色变化,深褐色需立即更换 。
防冻防凝露:低温环境需注入防冻液,避免冷却水结冰或聚光腔表面“凝露”导致YAG晶体损伤 。
光学组件保养
清洁频率:日常使用需每周检查聚焦镜、反射镜,用无尘棉签+99%酒精擦拭,避免纤维残留 。
镜片防护:清洁后涂抹防潮硅脂,长期闲置时用防尘罩密封光路窗口 。